真空模组
真空模组,可以在10^-7Pa的真空环境下运行,耐温达200℃,真空模组的设计首要考虑机构和材料。此系列产品大部分组件采用不锈钢加工或热膨胀系数相当的并且出气率底的材料。此系列产品主要应用于真空室,高温室,高洁净度环境。
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一体化设计,可靠易用。
标准化设计制造60、90、120三种规格,可定制其它规格
工作环境温度-100℃至+150℃
适用真空度10-7Pa
真空模组特点:
* 在 50~800mm行程内都可以定制
等级代码 | 温度等级℃ | 真空度pa(mbar) |
NT-L1 | -20~+85 | - |
NT-L2 | -40~+85 | - |
NT-L3 | -60~+85 | 10-1 (10-3) |
HT | -20~+200 | 10-3 (10-5) |
SHT | -20~+200 | 10-7 (10-9) |
LT | -100~+40 | 10-7 (10-9) |
L* H* | 定制 | 定制 |
* 定制的L(低)和H(高)温度来自 -196℃到+300℃ 。
真空材料烧结(高温+150℃,真空度10-1Pa)
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